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1、光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機 ， 曝光系統，光刻系統等 。常用的光刻機是掩膜對準光刻，所以叫 Mask Alignment System.
【光刻機是什么】2、一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序 。
3、Photolithography（光刻） 意思是用光來制作一個圖形（工藝）；
4、在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程 。
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